中國(guó)電子行業(yè)超純水國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)
電子行業(yè)對(duì)超純水的要求:電阻率MΩ.cm(25℃)18以上(95%時(shí)間)不低于1715(95%時(shí)間)不低于13硅≤μg/l2101μM微粒數(shù)≤個(gè)/ml0.15細(xì)菌個(gè)數(shù)≤個(gè)/ml0.010.1銅≤μg/l0.21鋅≤μg/l0.21鎳≤μg/l0.11鈉≤μg/l0.52鉀≤μg/l0.52氯≤μg/l11硝酸根≤μg/l11磷酸根≤μg/l11硫酸根≤μg/l11總有機(jī)碳≤μg/l20100中國(guó)國(guó)家實(shí)驗(yàn)室用水標(biāo)準(zhǔn)GB/T6682-92
中國(guó)國(guó)家實(shí)驗(yàn)室用水標(biāo)準(zhǔn)GB/T6682-92——PH25°C電導(dǎo)率25°C電阻率25°C可氧化物質(zhì),以0計(jì)吸光度254nm,1cm蒸發(fā)殘?jiān)?105±20°C)可溶性硅,以si02計(jì)單位——μs/cm兆歐.厘米mg/l——mg/lmg/l一級(jí)——≤0.1≥10——≤0.001——<0.01二級(jí)——≤1.0≥1<0.08≤0.01≤1.0<0.02三級(jí)5.0~7.5≤5.0≥0.2<0.40——≤2.0——注:1、由于在一級(jí)、二級(jí)水的純度下,難以測(cè)定其真實(shí)的PH值,...電話
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